1、純水：純水又稱純凈水、去離子水，是指以符合生活飲用水衛生標準的水為原水，通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當的加工方法，制得的密封于容器內，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水，也可以稱為純凈物(在化學上)，在試驗中使用較多，又因是以蒸餾等方法制作，故又稱蒸餾水。市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純凈水;但純水還是少喝為好，因為里面并沒有太多人體需要的礦物質。純水不易導電，是絕緣體。鉛酸蓄電池補水時要使用純水。

2、高純水：高純水是化學純度極高的水，其中的雜質的含量小于0.1mg/L。目前人們制成的高純水的純度已經達到99.999999%，其中雜質含量低于0.01mg/L。高純水主要指水的溫度為25℃時，電導率小于0.1us/cm,pH值為6.8-7.0及去除其他雜質和細菌的水。

   高純水，是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水。高純水的含鹽量在0.3mg/L以下,電導率小于0.2μs/cm。

3、超純水：超純水電阻率達到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水