電阻率 MΩ，cm(25℃)

18以上，（95％時間）不低于17

15，（95％時間）不低于13

12.0

0.5

全硅，最大值,μg/L

2

10

50

1000

＞1μm微粒數，最大值，個/mL

0.1

5

10

500

細菌個數，最大值，個/mL

0.01

0.1

10

100

銅，最大值，μg/L

0.2

1

2

500

鋅，最大值，μg/L

0.2

1

5

500

鎳，最大值，μg/L

0.1

1

2

500

鈉，最大值，μg/L

0.5

2

5

1000

鉀，最大值，μg/L

0.5

2

5

500

氯，最大值，μg/L

1

1

10

1000

硝酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

磷酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

硫酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

總有機酸，最大值，μg/L

20